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IC封装基板孔位测量仪

高精度

采用花岗岩机体结构+直线电机+光栅式结构,配合全闭环控制系统,以±2um的动态跟随精度保证图像采集精度,孔位精度可达±5um

多功能

钻机精度补偿技术

可为钻机输出线性精度补偿信息

尺寸检测功能

尺寸检测:圆弧/半径,直线间距,直线角度

最小可测孔径

可实现载板/软板/测试架的超小孔径检测,最小检测孔径为0.05mm

产品描述

  • 80K行频线阵相机

  • 大视场远心镜头,保证精度

  • 高行频线扫相机,提高扫描速率

  • 离线式SPC分析软件